直線電機(jī)基本結(jié)構(gòu)和原理

2022-04-16 09:11 高工

目前，隨著工業(yè)的訊速發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)無(wú)論是從科技還是經(jīng)濟(jì)的角度，其重要程度都是非常巨大的。在半導(dǎo)體電路集成裝配工藝過(guò)程中，由于零部件的結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單細(xì)小，所以在組裝上就有比較大的精度要求。直線電機(jī)除了擁有高速度，低磨耗的特性以外，還有高精度，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)等特性，它能使整個(gè)組裝設(shè)備完美的運(yùn)行，并且提高整個(gè)生產(chǎn)效率。因此，在組裝上引用直線電機(jī)就成為了一種新的趨勢(shì)。

隨著直線電機(jī)理論和產(chǎn)業(yè)的逐漸成熟。其在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用也越來(lái)越廣泛；兩種典型結(jié)構(gòu)直線電機(jī)，即U型電機(jī)、平板電機(jī)，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、高響應(yīng)特性和高精度等特點(diǎn)，從設(shè)計(jì)選型、抗干擾和精度控制等幾方面舉例分析。

1、直線電機(jī)基本結(jié)構(gòu)和原理

直線電機(jī)是將傳統(tǒng)圓筒型電機(jī)的初級(jí)展開(kāi)拉直，變初級(jí)封閉磁場(chǎng)為開(kāi)放磁場(chǎng)，而旋轉(zhuǎn)電機(jī)定子部分變?yōu)槌跫?jí)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)轉(zhuǎn)子部分變?yōu)榇渭?jí)。在電機(jī)三相繞組中通入三相對(duì)稱正弦電流后，在初級(jí)和次級(jí)間產(chǎn)生氣隙磁場(chǎng)，氣隙磁場(chǎng)沿展開(kāi)直線方向呈正弦分布。當(dāng)三相電流隨著時(shí)間變化時(shí)，使氣隙磁場(chǎng)按定向相序沿直線移動(dòng)，這個(gè)氣隙磁場(chǎng)稱為行波磁場(chǎng)。當(dāng)次級(jí)的感應(yīng)電流和氣隙磁場(chǎng)相互作用便產(chǎn)生了電磁推力。如果初級(jí)固定不動(dòng)，次級(jí)就沿看行波磁場(chǎng)動(dòng)的方向做直線運(yùn)動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)直線電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)的進(jìn)給。假設(shè)電動(dòng)機(jī)為2級(jí)，有3相繞組A、B、C，每相繞組只有一個(gè)線圈在0~T/2這個(gè)區(qū)間，如圖1所示。

半導(dǎo)體.png